Зинченко, Т. 2025. Исследование влияния газодинамических параметров распыления на качество тонких пленок прозрачных проводящих оксидов. Вестник Пермского университета. Физика. 3 (ноя. 2025), 61–68. DOI:https://doi.org/10.17072/1994-3598-2025-3-61-68.