[1]
2023. Особенности формирования тонких пленок алюминия под воздействием ультразвуковых колебаний подложки. Вестник Пермского университета. Физика. 3 (Nov. 2023), 05–08. DOI:https://doi.org/10.17072/1994-3598-2023-3-05-08.