TY - JOUR AU - Семенова (Oksana R. Semenova), Оксана AU - Сосунов (Alexey V. Sosunov), Алексей Владимирович AU - Чуракова (Alyona Churakova), Алена PY - 2020/12/25 Y2 - 2024/03/28 TI - Моделирование кривых дифракционного отражения рентгеновских лучей от протонообменных слоев монокристалла ниобата лития JF - Вестник Пермского университета. Физика JA - Вест. ПГУ Физика VL - 0 IS - 4 SE - Статьи DO - 10.17072/1994-3598-2020-4-17-28 UR - https://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/3580 SP - AB - <p>В работе в рамках динамической теории рассеяния рентгеновских лучей построена модель, описывающая кривые дифракционного отражения, полученные от протонообменных слоев монокристалла ниобата лития, подвергнутых постобменному отжигу. Экспериментально получены планарные протонообменные волноводы, созданные на основе Х-среза монокристалла ниобата лития. Показано, что протонная имплантация приводит к формированию новых кристаллических фаз с бόльшим параметром решетки. Исследованы изменения структуры (методом дифракционного структурного анализа) и оптические свойства (методом модовой спектроскопии) полученных волноводов в различных температурных режимах. По уширению дифракционных максимумов проведена оценка величины микродеформации кристаллической решетки, обусловленной протонной имплантацией. Показано, что толщина волноводного слоя и количество новых кристаллических фаз зависят не только от температурного режима протонного обмена, но и от продолжительности постобменного отжига. Проведено моделирование экспериментально полученных кривых дифракционного отражения в рамках описанной модели. В результате моделирования определена глубина волноводного слоя, которая согласуется с данными, полученными методом модовой спектроскопии. Представлены модели предполагаемых профилей деформации кристаллической решетки, обусловленных протонной имплантацией, определены средние значения микродеформации решетки и фазовый состав протонообменных слоев ниобата лития.</p> ER -