Kozlov, Andrey, Perm State University, Российская Федерация

• Вестник Пермского университета. Физика № 1 (2024) - Статьи
  Исследование кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме
  Аннотация  PDF