О термической стабильности тонких пленок золота, полученных методом вакуумного осаждения (Вестник Пермского университета. Серия «Химия», 2025)
В статье представлены результаты исследования влияния температуры отжига на состояние микроструктуры тонких пленок золота, нанесенного на поверхность чувствительного элемента (маятника) Q-flex акселерометра, полученных методом вакуумного осаждения. Установлено, что качество подготовки поверхности подложки перед осаждением пленок золота может оказывать влияние на эволюцию микроструктуры пленок при их постотжиге.