Козлов А, Салгаева У, Петухов И, Журавлев В, Волынцев А. Исследование процесса вторичной конденсации LiF в ходе реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме. Вест. ПГУ Физика [Интернет]. 4 июль 2024 г. [цитируется по 14 ноябрь 2024 г.];(2):33-55. доступно на: http://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/9055