Зинченко Т. Исследование влияния газодинамических параметров распыления на качество тонких пленок прозрачных проводящих оксидов. Вест. ПГУ Физика [Интернет]. 13 ноябрь 2025 г. [цитируется по 5 декабрь 2025 г.];(3):61-8. доступно на: http://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/10625