Козлов, А., У. Салгаева, И. Петухов, В. Журавлев, и А. Волынцев. «Исследование процесса вторичной конденсации LiF в ходе реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме». Вестник Пермского университета. Физика, вып. 2, июль 2024 г., сс. 33-55, doi:10.17072/1994-3598-2024-1-33-55.