А. Козлов, У. Салгаева, И. Петухов, В. Журавлев, и А. Волынцев, «Исследование процесса вторичной конденсации LiF в ходе реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме», Вест. ПГУ Физика, вып. 2, сс. 33–55, июл. 2024.