Козлов, А., Салгаева, У., Петухов, И., Журавлев, В. и Волынцев, А. (2024) «Исследование процесса вторичной конденсации LiF в ходе реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме», Вестник Пермского университета. Физика, (2), сс. 33–55. doi: 10.17072/1994-3598-2024-1-33-55.