Козлов, Андрей, Ульяна Салгаева, Игорь Петухов, Владимир Журавлев, и Анатолий Волынцев. 2024. «Исследование процесса вторичной конденсации LiF в ходе реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме». Вестник Пермского университета. Физика, вып. 2 (июль):33-55. https://doi.org/10.17072/1994-3598-2024-1-33-55.