Козлов, А., Салгаева, У., Петухов, И., Журавлев, В., & Волынцев, А. (2024). Исследование процесса вторичной конденсации LiF в ходе реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме. Вестник Пермского университета. Физика, (2), 33–55. https://doi.org/10.17072/1994-3598-2024-1-33-55