Уразбеков, А., & Сахаров , Ю. (2023). Особенности формирования тонких пленок алюминия под воздействием ультразвуковых колебаний подложки. Вестник Пермского университета. Физика, (3), 05–08. https://doi.org/10.17072/1994-3598-2023-3-05-08