Зинченко, Т. (2025). Исследование влияния газодинамических параметров распыления на качество тонких пленок прозрачных проводящих оксидов. Вестник Пермского университета. Физика, (3), 61–68. https://doi.org/10.17072/1994-3598-2025-3-61-68