Уразбеков, А. и Сахаров , Ю. 2023. Особенности формирования тонких пленок алюминия под воздействием ультразвуковых колебаний подложки. Вестник Пермского университета. Физика. 3 (ноя. 2023), 05–08. DOI:https://doi.org/10.17072/1994-3598-2023-3-05-08.